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垂直共振器型面発光レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者知野 豊治; 松田 賢一
发表日期1996-08-20
专利号JP1996213693A
著作权人松下電器産業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名垂直共振器型面発光レーザ及びその製造方法
英文摘要【目的】 p型DBRを通らずにホールを活性層に注入し、低抵抗の垂直共振器型面発光レーザを提供する。 【構成】 GaAs基板101上に、p-GaAs層102、p型ブラッグ反射器103、p型クラッド層104、AlGaAs層105、発光活性層106、AlGaAs層107、n型AlGaAsクラッド層108、n型ブラッグ反射器109、n型GaAsキャップ層110を積層している。AlGaAs層105からn-GaAs110まではポスト形状になっており、これをエアポスト113とよぶ。アノード112は、エアポスト近傍のクラッド層104上に形成されており、カソード111はエアポスト上に形成されている。エアポスト113の断面形状は中央部がくびれている。これによりアノード電極112をポスト113の近傍に設けることができ、しきい値電流の小さいレーザを実現できる。
公开日期1996-08-20
申请日期1995-02-07
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86826]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位松下電器産業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
知野 豊治,松田 賢一. 垂直共振器型面発光レーザ及びその製造方法. JP1996213693A. 1996-08-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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