光子集積回路およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | ウジール コーレン |
| 发表日期 | 1998-10-23 |
| 专利号 | JP1998284807A |
| 著作权人 | ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光子集積回路およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 プロセスを複雑にすることなしに、かつデバイス性能を低下させることなしに、パッシブ埋込みリブ導波路とレーザ導波路構造が質的に同じ平面にある光子集積回路を提供する。 【解決手段】 本光子集積回路において、アクティブ導波路(12)およびパッシブ導波路(13)は、コプレーナであり、アクティブおよびパッシブデバイス領域の両方の層の全体が本質的にコプレーナである。これにより表面が平坦になり、接点パッドおよび金属化部の柔軟性ある設計ができる。従来のレーザデバイスの製造プロセスにおいて使用されるディープエッチを取り除き、したがってレーザメサとパッシブ導波路区分との間の段差を除去する。 |
| 公开日期 | 1998-10-23 |
| 申请日期 | 1998-03-26 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86912]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ウジール コーレン. 光子集積回路およびその製造方法. JP1998284807A. 1998-10-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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