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半導体レーザおよびその製造方法

文献类型:专利

作者木村 明隆
发表日期2000-10-24
专利号JP2000299528A
著作权人NEC CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザおよびその製造方法
英文摘要【課題】電極を精度良く所定の位置に形成することができ、電極形成位置にずれが生じた場合であっても良好な電流狭窄が実現することができ、半導体層や絶縁膜との密着性が良好な、リッジ導波路型半導体レーザを提供すること。 【解決手段】p型クラッド層112に設けられたリッジ部120の上に、p型コンタクト層101および第一の電極層113を形成する。第一の電極層113は、第1層目がNi、第2層目がPtからなる2層構造とする。第一の電極層113およびp型クラッド層112の上に、酸化珪素膜102および第二の電極層114をこの順で形成する。第二の電極層114は、第1層目がTi、第2層目がPt、第3層目がAuからなる3層構造とする。酸化珪素膜102には第一の電極層113に達する接続孔が設けられており、この接続孔を介して第二の電極層114と第一の電極層113とを接続する。
公开日期2000-10-24
申请日期1999-04-12
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87035]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NEC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
木村 明隆. 半導体レーザおよびその製造方法. JP2000299528A. 2000-10-24.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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