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半導体レ-ザの製造方法

文献类型:专利

作者阪口 眞弓; 古山 英人; 櫛部 光弘
发表日期1993-08-27
专利号JP1993218570A
著作权人TOSHIBA CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レ-ザの製造方法
英文摘要【目的】 しきい値電流を低く抑え、発振レーザの波長や位相にばらつきのない高性能な半導体レーザの製造方法を提供する。 【構成】 第一導電型の半導体表面上にストライプ状のマスク層を形成し、このマスク層の間隔に少なくとも電流ブロック層の1層を側面が(111)B面を呈するように選択成長させる。つぎにこのマスク層を除去した半導体基板面と前記電流ブロック層の上に全面にわたって、活性層、第2導電型のクラッド層の順に少なくとも2層よりなる多層構造膜を成長させる。
公开日期1993-08-27
申请日期1992-02-07
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87089]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位TOSHIBA CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
阪口 眞弓,古山 英人,櫛部 光弘. 半導体レ-ザの製造方法. JP1993218570A. 1993-08-27.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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