光導波路構造及びその製造方法並びに半導体レーザ装置及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 三浦 猛 |
| 发表日期 | 1994-02-25 |
| 专利号 | JP1994053617A |
| 著作权人 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路構造及びその製造方法並びに半導体レーザ装置及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 制御性良く作製することのできる光導波路構造を得る。 【構成】 光導波路形成時の制御すべき要素の一つであるリッジ部以外の領域の半導体層の厚みを第1の半導体層4の結晶成長厚D1 により制御し、また制御すべき要素の他の一つであるリッジ幅を第1の半導体層4上に第2の半導体層14をストライプ状に選択成長する際の選択成長マスク13の開口幅W1 で制御した。 |
| 公开日期 | 1994-02-25 |
| 申请日期 | 1992-07-29 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87099]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 三浦 猛. 光導波路構造及びその製造方法並びに半導体レーザ装置及びその製造方法. JP1994053617A. 1994-02-25. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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