光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法
文献类型：专利
| 作者 | 阿久津 剛史; 奈良 一孝; 長谷川 淳一 |
| 发表日期 | 2009-10-15 |
| 专利号 | JP2009237326A |
| 著作权人 | FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法 |
| 英文摘要 | 【課題】歩留まりの向上を図ることができる光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法を提供する。 【解決手段】光集積回路モジュール1は、LDアレイ2が実装された光学ベンチとしてのSOB(シリコンオプチカルベンチ)3の端面4と、平面光波回路5が形成された光導波路素子としてのPLC6の端面7とを突き合わせて、LDアレイ2の複数の半導体導波路8と平面光波回路5の複数の光導波路9を光学的に接続した光モジュールである。この光集積回路モジュール1では、SOB3の端面4は、ダイサーで切削された表面粗さよりも小さい表面粗さに研磨された面になっている。つまり、SOB3の端面4を研磨で仕上げることによって、端面4の位置精度を上げ、端面距離Zの誤差ΔZを小さくしている。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2009-10-15 |
| 申请日期 | 2008-03-27 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87109]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 阿久津 剛史,奈良 一孝,長谷川 淳一. 光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法. JP2009237326A. 2009-10-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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