光集積回路およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 森戸 健 |
| 发表日期 | 1995-10-13 |
| 专利号 | JP1995263655A |
| 著作权人 | FUJITSU LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光集積回路およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 バットジョイント型の光集積回路を、接合部に異常成長を生じることなく、高い光結合効率を有するように形成することを目的とする。 【構成】 基板上に形成された第1の半導体層上に第1の領域を保護するマスクをほどこし、ドライエッチング法により、第2の領域から半導体層を選択的に除去し、さらに、前記第2の領域に、前記第1の半導体層に対応する構成の第2の半導体層をMOCVD法により、前記第1の半導体層と端面において連続するように堆積させる。 |
| 公开日期 | 1995-10-13 |
| 申请日期 | 1994-03-18 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87124]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | FUJITSU LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 森戸 健. 光集積回路およびその製造方法. JP1995263655A. 1995-10-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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