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導波路型光集積回路素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者河西 秀典; 下中 淳
发表日期1999-01-22
专利号JP1999014842A
著作权人シャープ株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名導波路型光集積回路素子及びその製造方法
英文摘要【課題】 半導体レーザと光導波路の接続部における光損失を最小限に抑えることができ、結果的に消費電力を低減でき、信頼性を向上できる導波路型光集積回路素子を提供する。 【解決手段】 半導体レーザ200と光導波路300の接合領域を幅2μmにわたって垂直にエッチングし、エッチングした領域に、MOCVD法によってAl混晶比0.2のAlGaAs層400を埋め込み成長させる。
公开日期1999-01-22
申请日期1997-06-20
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87151]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
河西 秀典,下中 淳. 導波路型光集積回路素子及びその製造方法. JP1999014842A. 1999-01-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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