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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者渥美 欣也; 木村 裕治; 安部 克則; 松下 規由起
发表日期1996-02-16
专利号JP1996046289A
著作权人日本電装株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【目的】 ボンディング時にオーミックコンタクト領域にダメージが入らないようにして信頼性の高い半導体レーザを得る。 【構成】 半導体基板21上に、第1の半導体クラッド層23、半導体活性層24、第2の半導体クラッド層25等を積層し、さらに上面に幅が100μm以上のストライプ状の開口部270を有する絶縁膜27を形成し、その開口部270に上部電極28をオーミックコンタクトをとるようにして、半導体レーザ素子10を構成する。この半導体レーザ素子10をヒートシンク40上に設置し、オーミックコンタクト領域280から外れた領域100から加圧してダイボンディングを行い、半導体レーザ素子10をヒートシンク40に接合する。
公开日期1996-02-16
申请日期1994-08-02
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87194]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電装株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
渥美 欣也,木村 裕治,安部 克則,等. 半導体レーザの製造方法. JP1996046289A. 1996-02-16.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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