導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子
文献类型：专利
| 作者 | 篠田 和典; 外川 英男; 嶋岡 誠; 青木 雅博; 辻 伸二; 魚見 和久 |
| 发表日期 | 1998-01-27 |
| 专利号 | JP1998026710A |
| 著作权人 | 株式会社日立製作所 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子 |
| 英文摘要 | 【課題】 半導体光素子に関し、極めて簡易な作製法で実現可能な信頼性の高いリッジ装荷型光導波路素子の素子構造を提供することにある。 【解決手段】 リッジ装荷型光導波路の両脇のリッジを形成するためのエッチング溝に熱膨張係数の小さな有機絶縁膜材料を充填し平坦化すること、およびエッチング溝の幅及び有機絶縁膜材料の厚みを最適な値に設定して半導体光素子を作製する。 【効果】 本発明によれば、リッジ状の半導体層及びその表面に形成されたSiO2のダメージのない信頼性の高いリッジ装荷型光導波路素子を容易に実現できる。また、素子信頼性、歩留まりが飛躍的に向上するだけでなく、この素子を適用した光通信システムの大容量化、長距離化を容易に実現できる。 |
| 公开日期 | 1998-01-27 |
| 申请日期 | 1996-07-11 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87214]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社日立製作所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 篠田 和典,外川 英男,嶋岡 誠,等. 導波路型光素子及びこれを用いた光送信モジュール並びに集積化光導波素子. JP1998026710A. 1998-01-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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