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半導体レーザ素子

文献类型:专利

作者内田 陽三; 中島 健二
发表日期2007-04-12
专利号JP2007095869A
著作权人三洋電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子
英文摘要【課題】 リッジ形成後にサポート部を形成することでサポート部の形状を最適化し、素子信頼性が高く偏光特性の良い半導体レーザ素子を提供することである。 【解決手段】 半導体レーザ素子は、活性層14の上方にリッジ1を有し、少なくともリッジ1を覆い、且つ少なくともリッジ1の上方に凹部2aを有し、凹部2aの両側に凸状のサポート部2bを有するサポート層2が積層された構成である。その作製工程は、リッジ1形成後の結晶成長によりリッジ1の上面以外に電流ブロック層17、18が積層され、次の結晶成長によりサポート層2が積層され、凹部2aがエッチングにより形成される。 【選択図】図2
公开日期2007-04-12
申请日期2005-09-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87459]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
内田 陽三,中島 健二. 半導体レーザ素子. JP2007095869A. 2007-04-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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