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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者阿部 博明
发表日期1999-02-26
专利号JP1999054829A
著作权人ALPS ELECTRIC CO LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【課題】 回折格子を有する半導体レーザの製造時に、回折格子の位置ずれを起こすことなく、良好な特性が得られる製造方法を提供する。 【解決手段】 コンタクト層16の上部にあらかじめ保護層30を形成しておき、この2層をエッチングしてストライプ状凸部16Aを構成した後、上部クラッド層15をエッチングすることで、所定の位置に回折格子を形成する。
公开日期1999-02-26
申请日期1997-07-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87483]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ALPS ELECTRIC CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
阿部 博明. 半導体レーザの製造方法. JP1999054829A. 1999-02-26.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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