半導体レーザの製造方法
文献类型:专利
作者 | 阿部 博明 |
发表日期 | 1999-02-26 |
专利号 | JP1999054829A |
著作权人 | ALPS ELECTRIC CO LTD |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 半導体レーザの製造方法 |
英文摘要 | 【課題】 回折格子を有する半導体レーザの製造時に、回折格子の位置ずれを起こすことなく、良好な特性が得られる製造方法を提供する。 【解決手段】 コンタクト層16の上部にあらかじめ保護層30を形成しておき、この2層をエッチングしてストライプ状凸部16Aを構成した後、上部クラッド層15をエッチングすることで、所定の位置に回折格子を形成する。 |
公开日期 | 1999-02-26 |
申请日期 | 1997-07-30 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87483] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | ALPS ELECTRIC CO LTD |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 阿部 博明. 半導体レーザの製造方法. JP1999054829A. 1999-02-26. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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