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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者藤井 宏明
发表日期2000-04-07
专利号JP2000101192A
著作权人NEC CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【課題】 良好な高温動作特性を有するとともに、長期間に亘って安定したレーザ特性を有する半導体レーザを実現すること。 【解決手段】 複数回の結晶成長工程を経てAlGaInP系可視光半導体レーザの作製する際に、p型半導体層の内、最終の結晶成長工程において最後に形成されるp型半導体層の表面をn型半導体層で被覆し、室温まで降温させた上で、当該n型半導体層を除去することで、結晶成長後の降温過程におけるp型半導体層に対する水素による不活性化を防止する。これにより、高いpキャリア濃度が得られ、良好な高温動作特性の実現と、長期間に亘って安定した特性を有する半導体レーザを実現することが可能となる。
公开日期2000-04-07
申请日期1998-09-21
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87794]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NEC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
藤井 宏明. 半導体レーザの製造方法. JP2000101192A. 2000-04-07.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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