変位測定装置およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 澤田 廉士; 日暮 栄治; 伊藤 高廣 |
| 发表日期 | 1997-11-28 |
| 专利号 | JP1997304014A |
| 著作权人 | 日本電信電話株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 変位測定装置およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】小型で慣性が小さく、振動の影響も受けにくく、個別部品の組み立て、調整の工程を削除し、量産を可能にして低コスト化を実現した変位測定装置およびその製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】半導体基板上に一体化されて形成された次のような電子素子、すなわち、半導体レーザ1と、少なくとも一つ以上のフォトダイオード2111等と、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層の3層からなる膜状の光導波路31、32と、半導体レーザ1から出射した光を平行にする光導波路凸状部311、321と、光導波路31、32内を伝播する光を全反射させるミラー1031と、部分反射させるハーフミラー51と、外部の対象物体に向かって光を出射、結像させ、その反射光を元の光導波路32に戻して平行光にする集光手段とを設ける。 |
| 公开日期 | 1997-11-28 |
| 申请日期 | 1996-05-16 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88014]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本電信電話株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 澤田 廉士,日暮 栄治,伊藤 高廣. 変位測定装置およびその製造方法. JP1997304014A. 1997-11-28. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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