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半導体レーザ素子の製造方法

文献类型:专利

作者築地 直樹; 相田 宏之
发表日期1994-04-28
专利号JP1994120615A
著作权人古河電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子の製造方法
英文摘要【目的】 製造歩留りが向上し、高効率高出力で温度特性の優れた半導体レーザ素子の製造方法を提供する。 【構成】 p型化合物半導体基板1上に、少なくともp型化合物半導体クラッド層2、活性層3およびn型化合物半導体クラッド層4が順次積層されたメサストライプ形状部を形成し、次いで、前記メサストライプ形状部側面をp型化合物半導体埋め込み層6およびn型化合物半導体電流阻止層7で埋め込み、次いで、前記n型化合物半導体電流阻止層7のメサストライプ形状部側面との接触部分を除去して、p型化合物半導体埋め込み層6の一部をメサストライプ形状部近傍に露出させ、次いで、p型化合物半導体電流阻止層8で埋め込む工程を有する。
公开日期1994-04-28
申请日期1993-07-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88172]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
築地 直樹,相田 宏之. 半導体レーザ素子の製造方法. JP1994120615A. 1994-04-28.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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