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屈折率導波型半導体レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者浜口 雄一
发表日期1999-05-28
专利号JP1999145551A
著作权人ソニー株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名屈折率導波型半導体レーザ及びその製造方法
英文摘要【課題】リッジ構造を有するAlGaAs系の屈折率導波型半導体レーザにおいて、リッジ内に、例えば、Al組成の小さな高屈折率層を設けなくても、屈折率導波を可能にする。 【解決手段】活性層3上にpAlGaAsクラッド層4及びコンタクト層6を形成した後、エッチングによりリッジ部Rを形成する。次いで、リン(P)拡散を行って、クラッド層4の表面部分に、AlGaP若しくはAlGaAsPからなる屈折率の小さな屈折率ガイド層9を形成する。しかる後、電流狭窄層7を結晶成長させて、リッジ部Rを埋め込む。 【効果】屈折率ガイド層9により屈折率導波が可能となる上、屈折率ガイド層9が電流狭窄効果も示すので、電流狭窄層7のn型ドーパントの濃度をそれ程高くしなくても済むようになる。
公开日期1999-05-28
申请日期1997-11-07
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88567]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ソニー株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
浜口 雄一. 屈折率導波型半導体レーザ及びその製造方法. JP1999145551A. 1999-05-28.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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