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半導体レーザダイオード及びその製造方法

文献类型:专利

作者寺田 俊幸; 吉武 春二
发表日期2004-01-15
专利号JP2004014912A
著作权人株式会社東芝
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザダイオード及びその製造方法
英文摘要【課題】電流ブロック特性を向上させることにより高温動作時のリーク電流が低減できる半導体レーザダイオード及びその製造方法を提供する。 【解決手段】半導体レーザダイオードの電流ブロック層8に挟まれた光導波路を構成するリッジ状のクラッド層6の出力方向に平行な側面をSiO2などの誘電膜7で被覆する。リッジ状のクラッド層6の両脇には誘電膜7が形成されているので高温(+70℃程度以上)でもこの部分からのリーク電流が増大しない。またクラッド層6の側壁部分からは電流ブロック層8が成長しないので成長を阻害する要因がなくなり、従って従来より厚く成長させることができる。その結果電流ブロック特性が向上する。プロセスを容易にするためp型クラッド層6とp型電流拡散層4の間にエッチングストップ層を形成しても良い。 【選択図】 図1
公开日期2004-01-15
申请日期2002-06-10
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88999]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社東芝
推荐引用方式
GB/T 7714
寺田 俊幸,吉武 春二. 半導体レーザダイオード及びその製造方法. JP2004014912A. 2004-01-15.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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