半導体光導波路およびその製造方法並びに光導波路型素子
文献类型：专利
| 作者 | 菅原 章義; 細羽 弘之; 近藤 雅文 |
| 发表日期 | 1995-06-06 |
| 专利号 | JP1995146413A |
| 著作权人 | シャープ株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体光導波路およびその製造方法並びに光導波路型素子 |
| 英文摘要 | 【目的】 簡単かつ容易に作製でき、導波路損失が少なく、かつ光位相変調が可能な半導体光導波路およびその作製方法を提供する。 【構成】 半導体基板11の(100)面11aに、ストライプ状のパターンで断面略V字状に形成された溝12の内部に、この溝のパターンに沿ってストライプ状に延びる高屈折率の導波部15を有する。導波部15が、断面逆メサ状をなし、下面15aおよび両側面15b,15bが第1の低屈折率半導体層14に接し、上面15cが第2の低屈折率半導体層16に接している。各層13〜17は、MOCVD法により、下地の面方位が反映する所定の条件で連続的に成長させる。 |
| 公开日期 | 1995-06-06 |
| 申请日期 | 1993-11-26 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89202]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | シャープ株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 菅原 章義,細羽 弘之,近藤 雅文. 半導体光導波路およびその製造方法並びに光導波路型素子. JP1995146413A. 1995-06-06. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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