周期変調回折格子
文献类型：专利
| 作者 | 国井 達夫 |
| 发表日期 | 1998-08-07 |
| 专利号 | JP1998206620A |
| 著作权人 | 沖電気工業株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 周期変調回折格子 |
| 英文摘要 | 【課題】 導波路の上部に抵抗が導波路方向に変化する抵抗加熱膜を設けることにより、素子作製プロセスが非常に容易であり、グレーティングのチャーピングの大きさ、及びチャーピングの変化の大きさを可変にすることができる(電流供給時に導波路方向に向かってブラッグ波長が低減する)周期変調回折格子を提供する。 【解決手段】 InP等の半導体クラッド層上に回折格子のついた光導波路2を設け、クラッド部よりも屈折率の大きい半導体材料(InGaAsP)で構成する。更に、InP等の半導体クラッド層、絶縁層を形成し、その上に抵抗加熱膜5を形成する。この周期変調回折格子10は上方から見ると、金等からなる電極パッド6が設けられ、光導波路2は点線で示すように、端面Pから端面Qに向かって一定の幅に形成されている。また、抵抗加熱膜5は端面Pから端面Qに向かって次第に広がり、その幅が導波路方向に変化している。 |
| 公开日期 | 1998-08-07 |
| 申请日期 | 1997-01-21 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89283]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 沖電気工業株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 国井 達夫. 周期変調回折格子. JP1998206620A. 1998-08-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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