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半導体発光素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者加守田 裕樹
发表日期1993-04-16
专利号JP1993095135A
著作权人オムロン株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光素子及びその製造方法
英文摘要【目的】 ウィンドウ部を開口されたキャップ層を基準としてp-Zn電流通路領域(拡散領域)をセルフアライメントにより形成し、ウィンドウ部と電流通路領域とを正確かつ容易に位置合わせする。 【構成】 上部クラッド層6の上に電流ブロック層7を形成してpn接合電流阻止層を形成し、電流ブロック層7の上に形成されたキャップ層8にウィンドウ部11を開口し、キャップ層8及びウィンドウ部11内の全面に拡散源12を塗布し、Znを全面拡散する。ウィンドウ部11の内部ではZnは直接電流ブロック層7内を拡散し、ウィンドウ部11とセルフアライメントに電流通路領域13を形成する。同時に、キャップ層8を拡散したZnは電流ブロック層7の上部に達して電流通路層14を形成する。
公开日期1993-04-16
申请日期1991-10-01
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89342]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位オムロン株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
加守田 裕樹. 半導体発光素子及びその製造方法. JP1993095135A. 1993-04-16.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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