ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法
文献类型：专利
| 作者 | 中村 玲王奈; 藤川 周一; 桂 智毅; 西前 順一 |
| 发表日期 | 2013-12-05 |
| 专利号 | JP2013241301A |
| 著作权人 | 三菱電機株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法 |
| 英文摘要 | 【課題】生産性の向上が図れ、かつ、コストも抑える。 【解決手段】加工対象物であるガラス28を搭載するステージ台27と、レーザビーム22を発振するレーザ発振器21と、発振されたレーザビーム22のビーム径の大きさやビーム形状を調整するビーム調整光学系23と、調整後のレーザビーム22の進行方向をガラス28に向けて調整する導光ミラー24と、導光されたレーザビーム22を成形するマスク25と、成形されたレーザビーム22をガラス28のレーザビーム入射面に集光する集光レンズ26とを備え、レーザビーム22のパルス幅を5μs以下に調整する。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2013-12-05 |
| 申请日期 | 2012-05-21 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89431]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三菱電機株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 中村 玲王奈,藤川 周一,桂 智毅,等. ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法. JP2013241301A. 2013-12-05. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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