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半導体レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者米田 幸司
发表日期1994-06-14
专利号JP1994169134A
著作权人三洋電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ及びその製造方法
英文摘要【目的】 電流通路のためのストライプ溝を有する半導体レーザを製造する際に、ストライプ溝パターンを確認するための溝出し工程が不要であり、工程数の低減と歩留りの向上とを図る。 【構成】 傾斜基板1に電流阻止層2を成長させた後にストライプ溝10を形成し、更に、p-クラッド層3,活性層4,n-クラッド層5,キャップ層6からなるダブルヘテロ構造を成長させると、ストライプ溝10のパターンを示す表面モフォロジが成長表面に見られるので、この表面モフォロジに合わせてn側電極7を容易にパターン形成する。
公开日期1994-06-14
申请日期1992-11-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89712]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
米田 幸司. 半導体レーザ及びその製造方法. JP1994169134A. 1994-06-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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