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掺杂镁的III-V氮化物及其制法

文献类型:专利

作者格伦·S·所罗门; 戴维·J·米勒; 泰特苏佐·于达
发表日期2003-04-09
专利号CN1409778A
著作权人CBL技术公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名掺杂镁的III-V氮化物及其制法
英文摘要掺杂镁的高质量III-V氮化物层及其制法。一种P型氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可通过氢化物气相外延(HVPE)方法在兰宝石基片上生产,HVPE过程使用一种金属供料混合物,它包括镁和III族金属(Ga,In,Al)。氮化镓,氮化铟,或氮化铝层可从兰宝石基片上取下以提供一种掺杂镁的P型III-V氮化物基片,后者具有低位密度并适用于制造,例如,发光器件。
公开日期2003-04-09
申请日期2000-04-13
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90021]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位CBL技术公司
推荐引用方式
GB/T 7714
格伦·S·所罗门,戴维·J·米勒,泰特苏佐·于达. 掺杂镁的III-V氮化物及其制法. CN1409778A. 2003-04-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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