用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 陈微; 周文君; 刘安金; 付非亚; 张建心; 渠红伟; 郑婉华 |
| 发表日期 | 2011-08-03 |
| 专利号 | CN102142657A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法 |
| 英文摘要 | 一种用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法，包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在衬底上依次生长下限制层、有源区和上限制层，形成横向波导结构；步骤3：采用感应耦合等离子体刻蚀的方法对上限制层进行刻蚀，在上限制层上形成周期性的条状结构，该条状结构的一部分为条状电流注入区，其余部分为光场调制区，结合这两个区便能实现侧向模式的调控；步骤4：在条状电流注入区的上面制作电极实现电流的选择性注入；步骤5：将衬底减薄，改善电流注入特性；步骤6：在衬底的背面制作背面电极，完成器件的制作。 |
| 公开日期 | 2011-08-03 |
| 申请日期 | 2011-03-02 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90026]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈微,周文君,刘安金,等. 用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法. CN102142657A. 2011-08-03. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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