一种微激光器阵列的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 朱刚毅; 戴俊; 林毅; 理记涛; 田正山 |
| 发表日期 | 2012-08-01 |
| 专利号 | CN102623891A |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种微激光器阵列的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种n型氧化锌微米棒/p型氮化镓微激光器阵列的制备方法。该方法首先利用气相传输法或水热法制备出氧化锌（ZnO）微米棒单晶，然后将单根ZnO微米棒集成在表面镀有一层金属锌（Zn）薄膜的p型氮化镓(GaN)，经过退火后，金属Zn薄膜完全变为ZnO薄膜，这样ZnO微米棒与p型GaN之间就形成了异质结。在镀有透明导电薄膜（如：氧化铟锡（ITO）、氧化锌铝（ZAO）等）玻璃一端再镀上一层金（Au）电极，然后将透明导电玻璃的扣在集成好ZnO微米棒的p型GaN衬底上，在透明导电玻璃和p型GaN之间注入环氧乙酯，通过对环氧乙酯退火固定器件的内部结构，最后在p型GaN表面制备电极,构成完整的器件。 |
| 公开日期 | 2012-08-01 |
| 申请日期 | 2012-01-17 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90093]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,朱刚毅,戴俊,等. 一种微激光器阵列的制备方法. CN102623891A. 2012-08-01. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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