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磷化铟基含砷含磷量子级联激光器结构及不间断生长法

文献类型:专利

作者李爱珍; 陈建新; 李华; 徐刚毅; 张永刚; 林春; 杨全魁; 李存才; 胡建
发表日期2006-02-08
专利号CN1731638A
著作权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
国家中国
文献子类发明申请
其他题名磷化铟基含砷含磷量子级联激光器结构及不间断生长法
英文摘要本发明涉及中红外低阈值电流密度InP基含砷含磷量子级联激光器结构及其不间断连续生长制备方法。其特征是:(1)四种中红外InP基含砷含磷量子级联激光器结构。这四种QCL结构的特点是:(a)都包括了InP基含砷含磷GaInAs/AlInAs/GaInAs/InP/InP或GaInAs/InP/ GaInAs/AlInAs/ InP/InP;(b)只采用硅一种施主掺杂剂;(c)采用InP/InP复合下波导包裹层;在InP和GaInAs间相互过渡时采用InP/GaInAs或GaInAs/InP数字递变超晶格层;(d)在有源区/注入区两侧加预注入加强层。(2)中红外InP基含砷含磷量子级联激光器结构不间断连续生长方法的特点是只用一台气态源分子束外延系统完成整个InP基含砷含磷量子级联激光器结构的不不间断连续生长,所研制的QCL器件具有低阈值电流密度的特点。
公开日期2006-02-08
申请日期2005-08-31
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90110]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李爱珍,陈建新,李华,等. 磷化铟基含砷含磷量子级联激光器结构及不间断生长法. CN1731638A. 2006-02-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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