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氧化锌类化合物半导体元件

文献类型:专利

作者中原健; 汤地洋行
发表日期2008-09-17
专利号CN101268563A
著作权人罗姆股份有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名氧化锌类化合物半导体元件
英文摘要本发明提供氧化锌类化合物半导体元件,即使形成具有ZnO类化合物半导体的异质结的叠层部,形成半导体元件,确保p型掺杂,并且不引起驱动电压的上升,而且结晶性良好、元件特性优异。本发明的氧化锌化合物半导体元件,在以A面{11-20}或M面{10-10}向-c轴方向倾斜的面为主面的MgxZn1-xO(0≤x<1)构成的基板1的主面上,外延生长ZnO类化合物半导体层(2)~(6)。
公开日期2008-09-17
申请日期2006-09-21
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90142]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位罗姆股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
中原健,汤地洋行. 氧化锌类化合物半导体元件. CN101268563A. 2008-09-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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