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使用沟槽为晶片承载的半导体器件提供电流控制

文献类型:专利

作者M·J·哈吉-谢克; J·R·比亚尔; R·M·豪金斯; J·K·冈特
发表日期2005-01-19
专利号CN1568432A
著作权人菲尼萨公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名使用沟槽为晶片承载的半导体器件提供电流控制
英文摘要这里公开的是用于为具有衬底(1520)、至少一个有源部件层(1565)、表面层(1510)、形成在所述表面层(1510)上的至少一个接触件(1515)的半导体晶片(1500)提供晶片寄生电流控制的方法。电流控制可以由围绕电接触件形成的沟槽(1525)来实现,其中,电接触件以及相关的层限定电子器件。绝缘注入物(1530)可以放置在沟槽(1530)中,和/或牺牲层(1540)可以在电子接触件(1515)之间形成。沟槽通过促进在有源(例如,导电)区域(1560)中的电流,且阻止电流通过非有源(例如,不导电)区域(1550)来控制电流。还公开了用于半导体器件的晶片级老化(WLBI)的方法和系统。当使用WLBI方法和系统时,晶片级的电流控制是重要的。
公开日期2005-01-19
申请日期2002-08-12
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90150]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位菲尼萨公司
推荐引用方式
GB/T 7714
M·J·哈吉-谢克,J·R·比亚尔,R·M·豪金斯,等. 使用沟槽为晶片承载的半导体器件提供电流控制. CN1568432A. 2005-01-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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