带有准光子晶体波导的量子级联激光器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 尹雯; 陆全勇; 张伟 ; 刘峰奇; 张全德; 刘万峰; 江宇超; 李路; 刘俊岐; 王利军
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| 发表日期 | 2010-10-13 |
| 专利号 | CN101859983A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 带有准光子晶体波导的量子级联激光器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 一种带有准光子晶体波导的量子级联激光器，包括：一衬底；一下波导层生长在衬底之上，且中间有一凸台，凸台的两侧形成脊型双沟台面结构；一量子级联有源区结构生长在下波导层的凸台之上；一上波导层生长在量子级联有源区结构之上；一上包层生长在上波导层之上；一上覆盖层生长在上包层之上；一高掺杂欧姆接触层生长在上覆盖层之上；一准光子晶体结构阵列制作在上覆盖层和高掺杂欧姆接触层的两侧，中间的宽度为2μm-10μm，两侧的准光子晶体结构阵列的宽度相同，分别为5-24μm；一电绝缘层沉积在欧姆接触层之上，覆盖整个脊型台面上表面和侧壁，在覆盖有绝缘层的脊型台面中心部位留出电注入窗口；一正面电极制作在绝缘层之上；一背面电极生长在衬底的背面。 |
| 公开日期 | 2010-10-13 |
| 申请日期 | 2010-05-12 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90151]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹雯,陆全勇,张伟,等. 带有准光子晶体波导的量子级联激光器及其制作方法. CN101859983A. 2010-10-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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