一种构筑电泵浦回音壁模ZnO紫外微激光器的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 朱刚毅; 理记涛; 田正山; 石增良 |
| 发表日期 | 2013-01-30 |
| 专利号 | CN102904158A |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种构筑电泵浦回音壁模ZnO紫外微激光器的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种构筑电泵浦回音壁模ZnO紫外微激光器的制备方法。该方法利用气相传输法或水热法制备出ZnO微米棒单晶，然后将单根ZnO微米棒转移到有缓冲层的p型氮化镓(GaN)上，通过对缓冲层的处理，使ZnO微米棒与p型GaN之间形成接触良好的异质结。接着在其表面制备一层绝缘薄膜，采用反应离子刻蚀或者光刻技术把ZnO微米棒表面刻蚀出来，然后将石墨烯转移到ZnO微米棒上，使石墨烯与ZnO微米棒形成良好的接触；最后在p型GaN表面制备金属电极，构成完的石墨烯/n型ZnO微米棒/p型GaN异质结微激光器。该方法制备的微激光器利用了石墨烯的高载流子浓度和高透光性，可实现了高品质的紫外激光输出。 |
| 公开日期 | 2013-01-30 |
| 申请日期 | 2012-10-19 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90152]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,朱刚毅,理记涛,等. 一种构筑电泵浦回音壁模ZnO紫外微激光器的制备方法. CN102904158A. 2013-01-30. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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