一种面发射激光器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 赵勇明; 孙玉润; 于淑珍; 何洋; 宋焱; 董建荣 |
| 发表日期 | 2017-07-07 |
| 专利号 | CN106936069A |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种面发射激光器及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种面发射激光器，从下至上依次为底电极、衬底、下布拉格反射镜、有源区、氧化限制层、上布拉格反射镜、接触层、外接电极、还包括隔离槽以及覆设于所述隔离槽表面的钝化层，以及连接于所述接触层与所述外接电极之间的接触电极；所述隔离槽至所述接触层表面往下延伸贯穿所述上布拉格反射镜到达所述氧化限制层，所述接触电极为石墨烯透明电极。本发明采用石墨烯材料在出光端面制作石墨烯透明电极，与出光端面外接电极形成顶电极，来代替现有的环形金属电极，实现电流的注入，能够改善器件工作的稳定性。而且该石墨烯透明电极具有较高的导热性和导电性、机械强度高和极高的透光性等优点。 |
| 公开日期 | 2017-07-07 |
| 申请日期 | 2015-12-30 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90154]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵勇明,孙玉润,于淑珍,等. 一种面发射激光器及其制备方法. CN106936069A. 2017-07-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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