激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器
文献类型：专利
| 作者 | 徐云; 宋玉志; 宋甲坤; 张祖银; 陈良惠 |
| 发表日期 | 2017-10-31 |
| 专利号 | CN107306011A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器 |
| 英文摘要 | 一种激光器的侧边耦合光栅的制备方法，包括步骤1：刻蚀制备激光器脊条波导，在脊条波导样品上做好电子束光刻对准标记并涂上光刻胶；步骤2：对涂上光刻胶的脊条波导两侧进行初步电子束曝光；步骤3：确定电子束曝光后的光栅掩膜与脊条波导的距离偏差，并在光栅版图中修正这一偏差；步骤4：利用修正的光栅版图对样品进行正式电子束曝光并显影；步骤5：溅射金属并进行剥离，形成侧边耦合光栅。通过该制备方法，能够制备紧靠脊条波导的完美反馈光栅，为激光器的分布反馈选模提供良好的结构基础，并减少了电子束曝光的时间，降低成本。 |
| 公开日期 | 2017-10-31 |
| 申请日期 | 2016-04-21 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90179]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐云,宋玉志,宋甲坤,等. 激光器的侧边耦合光栅及其制备方法、包含其的激光器. CN107306011A. 2017-10-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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