一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 郝润豹; 逯心红; 尚飞 |
| 发表日期 | 2017-02-22 |
| 专利号 | CN106451067A |
| 著作权人 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法。该方法包括：在晶圆表面形成脊结构；在晶元的表面涂覆第一光刻胶层，第一光刻胶层覆盖脊结构；在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层；对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光，对第二光刻胶层显影，使第一光刻胶层裸露；对裸露的第一光刻胶层进行显影；通过磁控溅射进行金属沉积形成沉积层；去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层，剥离沉积层。磁控溅射方法的离子束的方向性比较自由，则溅射粒子可以直接沉积在脊结构的侧壁上，相比较电子束蒸发设备，无需分别转动脊波导激光器，使脊波导激光器倾斜，进行两次沉积。 |
| 公开日期 | 2017-02-22 |
| 申请日期 | 2016-10-28 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90187]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝润豹,逯心红,尚飞. 一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法. CN106451067A. 2017-02-22. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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