具有高热波长调谐效率的可调激光器
文献类型：专利
| 作者 | 陈宏民; 颜学进; 苗容生; 沈晓; 刘宗荣 |
| 发表日期 | 2016-03-16 |
| 专利号 | CN105409071A |
| 著作权人 | 华为技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 具有高热波长调谐效率的可调激光器 |
| 英文摘要 | 一种单片集成热可调激光器，包括：分层衬底，所述分层衬底包括上表面和下表面，以及热调谐组件，所述热调谐组件包括：定位在所述上表面上的加热元件；定位在所述上表面与所述下表面之间的波导层，以及定位在所述波导层与所述下表面之间的隔热层，其中所述隔热层至少部分由磷化铟(Indium？Phosphide，InP)牺牲层刻蚀出，其中所述隔热层定位在砷化铟镓(Indium？Gallium？Arsenide，InGaAs)刻蚀停止层之间。 |
| 公开日期 | 2016-03-16 |
| 申请日期 | 2014-04-30 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90195]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华为技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈宏民,颜学进,苗容生,等. 具有高热波长调谐效率的可调激光器. CN105409071A. 2016-03-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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