一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 朱刚毅; 王永进 |
| 发表日期 | 2017-05-31 |
| 专利号 | CN106785896A |
| 著作权人 | 南京邮电大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔，然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在合适的光泵浦条件下，实现氮化物的锁模回音壁激光。 |
| 公开日期 | 2017-05-31 |
| 申请日期 | 2016-12-19 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90220]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京邮电大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,王永进. 一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785896A. 2017-05-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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