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具有带有单层光学涂层的窗的经蚀刻小面激光器

文献类型:专利

作者方瑞禹; 朱莉安娜·莫若罗; 贾马尔科·罗西; 罗伯托·帕洛提; 阿里桑德罗·斯塔诺; 贾恩卡洛·梅内吉尼
发表日期2014-09-03
专利号CN104022441A
著作权人安华高科技通用IP(新加坡)公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名具有带有单层光学涂层的窗的经蚀刻小面激光器
英文摘要具有带有单层光学涂层的窗的经蚀刻小面激光器。一种边缘发射经蚀刻小面光学半导体结构具有:衬底;作用多量子阱MQW区域,其形成于所述衬底上;及脊形波导,其形成于所述MQW区域上方,沿实质上纵向方向在波导第一经蚀刻末端小面与波导第二经蚀刻末端小面之间延伸。用于形成其中安置所述经蚀刻末端小面的窗的掩模层由直接安置于所述脊形波导上的单一电介质材料组成。由制成第二掩模的相同电介质材料的不多于一个层组成的光学涂层直接安置于所述第二掩模上且直接安置于所述窗上以涂覆所述经蚀刻末端小面。
公开日期2014-09-03
申请日期2014-02-26
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90304]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位安华高科技通用IP(新加坡)公司
推荐引用方式
GB/T 7714
方瑞禹,朱莉安娜·莫若罗,贾马尔科·罗西,等. 具有带有单层光学涂层的窗的经蚀刻小面激光器. CN104022441A. 2014-09-03.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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