一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件
文献类型：专利
| 作者 | 闫方亮; 张锦川; 姚丹阳; 卓宁; 王利军; 刘峰奇; 王占国 |
| 发表日期 | 2014-04-09 |
| 专利号 | CN103715607A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件，包括：衬底；衬底上表面依次生长的下波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、盖层以及高掺层；阵列器件，其包含多个DFB激光器单元，每个DFB激光器单元具有脊型波导结构，脊上面的高掺层上具有二级取样布拉格光栅结构，不同布拉格光栅具有不同取样周期；二氧化硅层，覆盖整个脊型波导结构的表面区域；正面电极层，生长在二氧化硅层上面及布拉格光栅上面；电隔离沟，位于阵列器件中两个相邻的DFB激光器的脊型波导结构之间；背面金属电极层，生长在衬底的下表面；出光窗口，位于衬底的下表面，阵列器件中的每个DFB激光器单元的脊型波导均对应一个出光窗口。 |
| 公开日期 | 2014-04-09 |
| 申请日期 | 2013-12-19 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90350]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫方亮,张锦川,姚丹阳,等. 一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件. CN103715607A. 2014-04-09. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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