一种掩埋结构激光器及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 李密锋; 汤宝; 罗飚 |
发表日期 | 2017-05-31 |
专利号 | CN106785910A |
著作权人 | 武汉光迅科技股份有限公司 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种掩埋结构激光器及其制造方法 |
英文摘要 | 本发明涉及激光器技术领域,提供了一种掩埋结构激光器及其制造方法。其中,激光器包括衬底、台面结构、掩埋结构和电极接触层,台面结构位于衬底上;掩埋结构由至少一层第一材料层和至少一层第二材料层构成,第二材料层覆盖于第一材料层上,并且第二材料层上对应台面结构的台顶区域设置有凹槽结构;电极接触层位于第二材料层上。本发明实施例克服了现有技术中存在的掩膜层与高电阻层(即掩埋材料)接触区域会过度生长,形成尖锐边角造成漏电流,会对器件在较小的电压下击穿的问题,提高了激光器工作的可靠性。 |
公开日期 | 2017-05-31 |
申请日期 | 2016-10-31 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90485] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 武汉光迅科技股份有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李密锋,汤宝,罗飚. 一种掩埋结构激光器及其制造方法. CN106785910A. 2017-05-31. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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