一种准分子激光器脉冲电源
文献类型：专利
| 作者 | 胡耀文; 左都罗; 王新兵; 陆培祥; 徐勇跃; 胡守岩; 李凌峰 |
| 发表日期 | 2013-04-10 |
| 专利号 | CN103036146A |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种准分子激光器脉冲电源 |
| 英文摘要 | 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。 |
| 公开日期 | 2013-04-10 |
| 申请日期 | 2012-11-28 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90494]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡耀文,左都罗,王新兵,等. 一种准分子激光器脉冲电源. CN103036146A. 2013-04-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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