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半导体光元件和集成型半导体光元件

文献类型:专利

作者境野刚
发表日期2011-06-29
专利号CN102110953A
著作权人三菱电机株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名半导体光元件和集成型半导体光元件
英文摘要本发明能够获得半导体光元件和集成型半导体光元件,其中,在台面条状的层叠体的侧部具有埋入层的半导体光元件和集成型半导体光元件中,能够抑制在埋入层中流过的无效电流,并且实现高速响应特性。形成有在p型半导体衬底(1)上从下层起至少依次层叠了p型包覆层(2)、活性层(3)和n型包覆层(4)的台面条状的层叠体,在层叠体的侧部形成有埋入层,在埋入层中从下层起依次层叠有第一p型半导体层(5)、第一n型半导体层(6)、Fe掺杂半导体层(7)、第二n型半导体层(8)、低载流子浓度半导体层(9)和第二p型半导体层(10),Fe掺杂半导体层(7)不在由第一p型半导体层(5)和第一n型半导体层(6)构成的结晶面的(111)B面上生长,第二n型半导体层(8)不在由第一n型半导体层(5)、第一n型半导体层(6)和Fe掺杂半导体层(7)构成的结晶面的(111)B面上生长。
公开日期2011-06-29
申请日期2010-06-02
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90522]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
境野刚. 半导体光元件和集成型半导体光元件. CN102110953A. 2011-06-29.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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