将来自光波导的光重定向的器件
文献类型：专利
| 作者 | A・P・R・哈平; A・G・里克曼; R・J・R・莫里斯; S・戈尔顿; M・阿斯格哈里 |
| 发表日期 | 2000-04-26 |
| 专利号 | CN1251660A |
| 著作权人 | 布克哈姆技术公共有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 将来自光波导的光重定向的器件 |
| 英文摘要 | 本器件是在绝缘体基外延硅芯片(它包括一个硅层(1),绝缘层(2)将硅层与衬底(3)分开)上形成的,本器件包括一个形成于硅层(1)的集成波导(4)和一个形成在硅层(1)的凹槽内的反射面(6)。反射面定位成把光重定向在希望的方向上。波导(4)和反射面(6)都形成在硅层(1)上,所以它们的位置可以由同一光刻步骤限定,从而它们自动相互对准。 |
| 公开日期 | 2000-04-26 |
| 申请日期 | 1998-02-06 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90534]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 布克哈姆技术公共有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | A・P・R・哈平,A・G・里克曼,R・J・R・莫里斯,等. 将来自光波导的光重定向的器件. CN1251660A. 2000-04-26. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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