氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 王永进; 白丹; 朱刚毅; 李欣; 施政; 高绪敏; 陈佳佳 |
| 发表日期 | 2014-08-06 |
| 专利号 | CN103972789A |
| 著作权人 | 南京邮电大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法，光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层，氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂，非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬底层的空腔，使非对称型回音壁模式光学微腔完全悬空，非对称型回音壁模式光学微腔通过支撑臂与氮化镓层连接，实现微腔内部光全反射传播，最终方向性的输出。本发明器件能够实现激光选频并且定向输出的功能、制造工艺简便、输出功率高。 |
| 公开日期 | 2014-08-06 |
| 申请日期 | 2014-04-04 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90583]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京邮电大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王永进,白丹,朱刚毅,等. 氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法. CN103972789A. 2014-08-06. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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