一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 方瑞禹; 郝润豹; 丁凯文 |
| 发表日期 | 2017-10-17 |
| 专利号 | CN107257082A |
| 著作权人 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法，用以降低脊波导激光器电极接触窗口制作成本，该方法包括：对晶元上沉积的波导层进行刻蚀，形成脊波导结构以及脊波导结构两侧的结构；在脊波导结构和脊波导结构两侧的结构表面沉积电介质层；在电介质层的表面涂覆光刻胶；利用掩膜板对光刻胶进行光刻，将电介质层表面上覆盖脊波导结构的光刻胶去除；对电介质层表面未去除的光刻胶进行热处理，令未去除的光刻胶在发生形变；以光刻胶为掩膜对电介质层进行刻蚀，将覆盖在脊波导结构表面的电介质去除，形成电极接触窗口，使得利用低精度的光刻设备便能完成脊波导激光器电极接触窗口的制作，降低了成本。 |
| 公开日期 | 2017-10-17 |
| 申请日期 | 2017-07-05 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90589]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方瑞禹,郝润豹,丁凯文. 一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法. CN107257082A. 2017-10-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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