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直接或间接带隙组成的Ⅲ-V族含铝化合物的掺杂及方法

文献类型:专利

作者李爱珍; 郑燕兰; 李华; 胡雨生; 张永刚; 茹国平; 陈正秀
发表日期2006-02-22
专利号CN1737998A
著作权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
国家中国
文献子类发明申请
其他题名直接或间接带隙组成的Ⅲ-V族含铝化合物的掺杂及方法
英文摘要本发明涉及由直接带隙二元系和间接带隙二元系组成的三元系III-V族含铝砷化物和锑化物的掺杂及方法,具体涉及AlInAs、AlGaAs和AlGaAsSb多元系外延材料及其在全铝组份变化范围的施主掺杂及方法。其特征包括了在磷化铟、砷化镓衬底上用气态源或固态源分子束外延生长的三种含铝多元系III-V族化合物外延材料铝铟砷、铝镓砷、铝镓砷锑在全全铝组份变化范围(0≤XAl≤1)的施主掺杂方法。在全Al组份范围内存在施主掺杂隙,在保持恒定的施主束流强度下,其施主浓度随铝组份变化可相差2至4个数量级。本发明三种含铝三元系材料为中红外、远红外(THz)激光器势叠层和波导层材料,也是高速器件的垒层材料。
公开日期2006-02-22
申请日期2005-08-25
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90645]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李爱珍,郑燕兰,李华,等. 直接或间接带隙组成的Ⅲ-V族含铝化合物的掺杂及方法. CN1737998A. 2006-02-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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