一种集成激光器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 赵勇明; 孙玉润; 于淑珍; 何洋; 宋焱; 董建荣 |
| 发表日期 | 2017-07-07 |
| 专利号 | CN106936068A |
| 著作权人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种集成激光器及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种集成激光器，包括光电探测器和面发射激光器，所述光电探测器与所述面发射激光器共用一衬底。本发明还提供这种集成激光器的制备方法，用于将光电探测器和面发射激光器集成为一体。本发明将面发射激光器与光电探测器通过半导体制造工艺方法实现单片集成，有利于实现探测系统的微型化，提高了器件的集成度。 |
| 公开日期 | 2017-07-07 |
| 申请日期 | 2015-12-30 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90647]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵勇明,孙玉润,于淑珍,等. 一种集成激光器及其制备方法. CN106936068A. 2017-07-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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