单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器
文献类型：专利
| 作者 | 潘碧玮; 赵玲娟; 陆丹; 张莉萌 |
| 发表日期 | 2016-03-23 |
| 专利号 | CN105428997A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器 |
| 英文摘要 | 一种单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器，包括：衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层，其中在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面，形成一中间高、两边低的脊型波导结构，所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟；TiAu电极制作于所述脊型波导上方，覆盖整个凸起的脊型波导，该TiAu电极在所述隔离沟处整体断开，分为两段电极。本发明的多段式FP激光器采用复合腔选模机制，无需光栅制作就可实现单纵模且波长可调谐的激光输出，降低了工艺的复杂性，同时保证了成品率和出光功率。 |
| 公开日期 | 2016-03-23 |
| 申请日期 | 2015-12-30 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90693]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘碧玮,赵玲娟,陆丹,等. 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器. CN105428997A. 2016-03-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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