一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列
文献类型：专利
| 作者 | 李连艳; 陈向飞; 陈玉桃; 陆骏; 张云山; 施跃春 |
| 发表日期 | 2017-08-15 |
| 专利号 | CN107046229A |
| 著作权人 | 南京威宁锐克信息技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列 |
| 英文摘要 | 本申请公开了一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列。该方法包括：利用重构-等效啁啾技术制备用于构成激光器阵列的无源芯片；制备用于构成激光器阵列的外延片；利用芯片键合技术对所述无源芯片和外延片进行键合；通过对所述外延片进行刻蚀及沉积金属等后续工艺，制备激光器阵列。本发明解决了现有技术中难以制备波长精确的硅基激光器阵列的问题。 |
| 公开日期 | 2017-08-15 |
| 申请日期 | 2016-02-05 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90798]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京威宁锐克信息技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李连艳,陈向飞,陈玉桃,等. 一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列. CN107046229A. 2017-08-15. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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