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面発光半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者村上 朱実; 乙間 広己; 石井 亮次
发表日期2011-12-09
专利号JP4877471B2
著作权人富士ゼロックス株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名面発光半導体レーザの製造方法
英文摘要【課題】 信頼性および歩留まりを改善する面発光型半導体レーザ用基板を提供する。 【解決手段】 VCSEL用基板100は、スクライビングまたはダイシングする素子分離領域200によって分離された複数の素子領域110を含み、各素子領域110には、基板100と垂直方向にレーザ光を出射する発光部112と、発光部112と電気的に接続された電極パッド118が形成されている。素子分離領域200には、各素子領域110の発光部112とそれぞれ電気的に接続された検査用電極パッド204が形成されている。 【選択図】図2
公开日期2012-02-15
申请日期2005-10-25
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90821]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士ゼロックス株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
村上 朱実,乙間 広己,石井 亮次. 面発光半導体レーザの製造方法. JP4877471B2. 2011-12-09.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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