生长于非极性或半极性(Ga,Al,In,B)N衬底上的装置
文献类型:专利
作者 | 罗伯特・M・法雷尔; 迈克尔・伊萨; 詹姆斯・S・斯佩克; 史蒂文・P・登巴尔斯; 中村秀治 |
发表日期 | 2012-05-09 |
专利号 | CN102449737A |
著作权人 | 加利福尼亚大学董事会 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 生长于非极性或半极性(Ga,Al,In,B)N衬底上的装置 |
英文摘要 | 本发明提供一种用于改进非极性或半极性(Ga,Al,In,B)N衬底上的(Ga,Al,In,B)N薄膜的生长形态的方法,其中(Ga,Al,In,B)N薄膜直接生长于非极性或半极性(Ga,Al,In,B)N衬底或模板上,且生长期间所使用的载气的一部分由惰性气体构成。非极性或半极性氮化物LED和二极管激光器可生长于依据本发明而生长的光滑的(Ga,Al,In,B)N薄膜上。 |
公开日期 | 2012-05-09 |
申请日期 | 2010-03-02 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90925] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 加利福尼亚大学董事会 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗伯特・M・法雷尔,迈克尔・伊萨,詹姆斯・S・斯佩克,等. 生长于非极性或半极性(Ga,Al,In,B)N衬底上的装置. CN102449737A. 2012-05-09. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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