端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法
文献类型:专利
作者 | 中川康幸 |
发表日期 | 2009-07-15 |
专利号 | CN101483316A |
著作权人 | 三菱电机株式会社 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法 |
英文摘要 | 本发明提供一种端面处理用夹具以及使用该夹具的半导体激光装置的制造方法,该夹具能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光装置本体的端面上形成反射率控制膜。以氧化物和氮化物中的至少一方构成端面处理用夹具(3)的窗部(5),以使得端面从窗部(5)的窗口(4)露出的方式固定半导体激光条(1)。在此状态下,在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜,制造半导体激光装置。由此,因为能够防止金属被引入反射率控制膜中,从而防止被引入的金属导致的光吸收,所以能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜。 |
公开日期 | 2009-07-15 |
申请日期 | 2008-12-15 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91355] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 三菱电机株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 中川康幸. 端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法. CN101483316A. 2009-07-15. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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