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端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法

文献类型:专利

作者中川康幸
发表日期2009-07-15
专利号CN101483316A
著作权人三菱电机株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法
英文摘要本发明提供一种端面处理用夹具以及使用该夹具的半导体激光装置的制造方法,该夹具能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光装置本体的端面上形成反射率控制膜。以氧化物和氮化物中的至少一方构成端面处理用夹具(3)的窗部(5),以使得端面从窗部(5)的窗口(4)露出的方式固定半导体激光条(1)。在此状态下,在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜,制造半导体激光装置。由此,因为能够防止金属被引入反射率控制膜中,从而防止被引入的金属导致的光吸收,所以能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜。
公开日期2009-07-15
申请日期2008-12-15
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91355]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
中川康幸. 端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法. CN101483316A. 2009-07-15.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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